无氧化烘箱,晶元烘箱,百级氮气烤箱,无氧化烤箱-上海隽思实验仪器有限公司

新聞中心您的位置：網(wǎng)站首頁 >新聞中心 > 你知道HMDS烤箱的主要設備特點都有哪些嗎

你知道HMDS烤箱的主要設備特點都有哪些嗎

更新時間：2021-09-09   點擊次數(shù)：1154次

    HMDS烤箱將HMDS涂到LED、半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結合，起著偶聯(lián)劑的作用。均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

    HMDS烤箱的設備特點：

    1、機外殼采用冷軋板烤漆處理，內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成；加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周，內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。

    2、箱門閉合松緊能調(diào)節(jié)，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內(nèi)高真空度。

    3、微電腦智能控溫儀，具有設定，測定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能，控溫精確，可靠。

    4、智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序，溫度，真空度及每一程序時間。

    5、HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無外漏顧慮。

    6、整個系統(tǒng)采用優(yōu)質(zhì)材料制造，無發(fā)塵材料，適用100級光刻間凈化環(huán)境。

    將HMDS涂到半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結合，起著偶聯(lián)劑的作用。
COPYRIGHT @ 2016 網(wǎng)站地圖    滬ICP備16022591號-1   

上海雋思實驗儀器有限公司主營產(chǎn)品:無氧化烘箱,精密熱風烘箱,晶元烘箱,百級氮氣烤箱,無氧烤箱
地址：上海奉賢柘林工業(yè)區(qū)3213號

環(huán)保在線

推薦收藏該企業(yè)網(wǎng)站