半导体百级洁净烘箱，芯片百级烤箱概述

半导体百级洁净烘箱，芯片百级烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

特点

Ø  在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 100；

Ø  全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；

Ø  采用单面水平由后向前送风热风循环系统，风源由循环马达运转带动风轮经电热器，将热风由风道送至烤箱内部，且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热，省电节能温度均匀性好，过滤效率99.99%，Class 100；

参数

Ø  进风口：φ6mmN2进气、流量计控制;

Ø  排风口： φ3”排风管（外接φ5＂法兰）;       

Ø  电源：480v , 50Hz，15KW ，电源供应器为UL/FM/CE或3C认证，并有过

Ø  电流?；ぷ爸?；   

Ø  网板：5层，2mmt不锈钢版加工四周内向折成10mm的圆孔承托盘 , 单层

Ø  层载重量可需承重50kg；

Ø  洁净度：100级的洁净热处理HEPA过滤器与前出风水平层对流循环方式实

Ø  现并保证箱内的温度分布的均匀性与100级洁净度。

温度控制器

Ø  彩色触摸屏控制器TEMI360

a)   控制器：彩色触摸屏；

b)   显示器：3.5英寸TFT彩色LCD显示器；

c)   输出方式：PID控制输出；

d)   运行方式：程序方式、定值方式；

e)   设定方式：中/英文菜单，触摸屏方式输入；