热板,高精度加热平台采用铝板作为工作表面,其内置不锈钢加热棒,导热性能好,升温快,采用PID调节仪控温,可以精确控制平台的加热温度.适用于半导体光刻工艺的前烘和坚膜、电路??榈耐糠笊战岷涂己说裙ひ?。
热板,高精度加热平台概述简介:
加热板采用铝板作为工作表面,其内置不锈钢加热棒,导热性能好,升温快,采用PID调节仪控温,可以精确控制平台的加热温度.适用于半导体光刻工艺的前烘和坚膜、电路??榈耐糠笊战岷涂己说裙ひ?。
热板,高精度加热平台主要技术参数:
?整机尺寸:330mm×830mmX300mm
?加热板及尺寸:铝板,300mm×800mmX50mm
?加热方式:内热式不锈钢加热棒
?温度范围:室温~250℃
?控温精度:±1℃
?温度均匀性:±2℃
?功率:6000W
?电源电压:三相380V 50HZ
?计时范围:1s~99.99h