抗粘 剂镀膜机,抗粘剂蒸镀机抗粘剂气相涂布机模具在使用前,要涂一层抗粘剂,使得模具和压印胶之间的粘附性变差,使脱模过程变得容易。
抗粘 剂镀膜机,抗粘剂蒸镀机的必要性
在纳米压印工艺中模具在进行压印前要进行预处理,当模具压印光刻胶后脱模时,有2种可能,一种是模具可*脱离,压印胶图形完整保留;一种是模具和压印胶粘在一起脱模过程中胶也被带起来,使得压印图形无法保留,而这些粘在模具上的胶也会污染模具。因此模具在使用前,要涂一层抗粘剂,使得模具和压印胶之间的粘附性变差,使脱模过程变得容易。
抗粘剂镀膜机,抗粘剂蒸镀机,抗粘剂气相涂布机适用范围
半导体,光电、电子行业硅片或石英硬模板等材料,如制备各种微纳电子器件、光学器件、光电器件、存储器、微流体通道、生物芯片等微纳结构制备方面的应用。
抗粘 剂镀膜机,抗粘剂蒸镀机主要技术参数
3.1 工作室尺寸: 350×350×350(mm)
3.2 材质: 外箱优质SUS#304不锈钢,内腔采用316L医用不锈钢
3.3 温度范围 :RT+20-450℃
3.4 温度分辨率: 0.1℃
3.5 温度波动度 :≤±0.5
3.6 真空度: ≤20torr
3.7 洁净度 :设备采用无尘材料,适用100级光刻间净化环境
3.8电源及总功率 :
3.9 控制仪表 人机界面
3.10搁板层数 1层
3.11真空泵 无油泵
3.12 保护装置 超温?;?,漏电?;ぃ缺;さ?/span>