HMDS烘箱 图像反转系统 HMDS涂胶机使用HMDS(六甲基二硅氮烷)对晶圆表面进行快速、均匀、经济高效的涂布,以提高光刻胶的附着力。这些多功能系统还支持图像反转,形成具有与正光刻胶相同的分辨率和易用性的负图像。
HMDS烘箱 图像反转系统 HMDS涂胶机用途
使用HMDS(六甲基二硅氮烷)对晶圆表面进行快速、均匀、经济高效的涂布,以提高光刻胶的附着力。这些多功能系统还支持图像反转,形成具有与正光刻胶相同的分辨率和易用性的负图像。
HMDS烘箱 图像反转系统 HMDS涂胶机应用行业
MEMS系统
CVD薄膜;
光刻
用于光刻胶附着力的 HMDS
作为聚合物和基材之间的粘合层
作为印章和聚合物材料之间的非常薄和保形的离型层;
喷墨
防止墨水积聚在喷嘴面板上,确保墨水流动不受限制;
生物MEMS
亲水性和生物相容性CVD薄膜可用于改善润湿性,或防止蛋白质吸收,或减少器件性能的“漂移"
微阵列芯片的硅烷/底物粘附:DNA、基因、蛋白质、抗体、组织;
光学和 AR/VR 应用
修改光学特性
创建纳米压印层或钝化层;
图像反转
金属剥离工艺,用于WLP、RDL和掩模制造操作中的无蚀刻工艺;
HMDS烘箱 图像反转系统 六甲基二硅氮烷涂胶机技术性能
材质:内箱采用316L医用级不锈钢
工艺温度:100-150℃
温度分辨率:0.1℃
温度波动度:≤±0.5
真空度:≤133pa(1torr)
操作界面:人机界面,一键作业
层数:2层
HMDS控制:可控制HMDS药液的添加量
图像处理:图像反转
真空泵: 进口无油泵
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