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智能型HMDS系统真空泵,HMDS涂胶机干泵密封设计(电机和所有轴承与真空环路*隔开)延长了轴承的使用寿命, 还可提供洁净、无油的真空条件。可选的集成入口?;し谥糜诒媚?橹?, 可根据需要使用,不会额外增加泵的高度。
HMDS增粘装置,涂敷HMDS增粘剂的装置通过对箱体内预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,增加了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。
HMDS预处理系统报价它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。
HMDS预处理系统降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。适用于硅片、砷化镓、陶瓷、不锈钢、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料。