HMDS烘箱原理,2-12寸晶圆预处理烘箱通过对烘箱 HMDS 预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间 等参数的编辑,可以在硅片、基片表面均匀涂布一层 HMDS,降低了 HMDS 处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量, 提高光刻胶与硅片的黏附性。
HMDS烤箱机台,HMDS预处理烘箱箱体外壳采用高级不锈钢制作,内胆为316L医用不锈钢材料制成;加热器均匀分布在内胆外壁四周,内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。
晶圆HMDS烤箱预处理系统通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。