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掩膜版HMDS真空烘箱    hmds烤箱
掩膜版HMDS真空烘箱 hmds烤箱

掩膜版HMDS真空烘箱 hmds烤箱使基底表面由亲水性变为疏水性,增强表面的黏附性(HMDS-六甲基二硅胺烷)。适用于硅片、麟化铟、砷化镓、陶瓷、不锈钢、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料。

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桌上型HMDS烘箱,小型HMDS真空烤箱 工业烘箱
桌上型HMDS烘箱,小型HMDS真空烤箱 工业烘箱

桌上型HMDS烘箱,小型HMDS真空烤箱采用HMDS涂布方法改变晶圆表面的亲水性,从而增大晶圆表面的接触角),增强光刻胶和晶圆的粘附力。

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碳化硅HMDS烘箱,SiC衬底HMDS烤箱 工业烘箱
碳化硅HMDS烘箱,SiC衬底HMDS烤箱 工业烘箱

碳化硅HMDS烘箱,SiC衬底HMDS烤箱将HMDS气相沉积至半导体制造中氮化镓(GaN)和、碳化硅(SiC)、硅片、砷化镓等材料表面后,经系统加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用

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HMDS烘箱真空泵,IDP10无油泵
HMDS烘箱真空泵,IDP10无油泵

HMDS烘箱真空泵,IDP10无油泵泵具有密封设计,电机和轴承与真空环路全隔离,延长了轴承的使用寿命,并提供洁净、无油的真空条件。IDP 泵采用单面涡旋设计,可通过简单的工具在 15 分钟内完成维护操作??裳〉募墒礁衾敕Х乐挂馔馕廴?,并且不会额外增加泵的高度。

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HMDS 烘箱 工业烘箱
HMDS 烘箱 工业烘箱

HMDS 烘箱是将HMDS蒸汽通过干燥的真空腔内加热到(120-150°C),在衬底表面上HMDS作为单层膜进行化学结合。

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HMDS烤箱,HMDS真空烘箱
HMDS烤箱,HMDS真空烘箱

HMDS烤箱,HMDS真空烘箱将HMDS气相沉积至半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料表面后,经系统加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。

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HMDS真空烤箱,MES系统HMDS烤箱 工业烘箱
HMDS真空烤箱,MES系统HMDS烤箱 工业烘箱

HMDS真空烤箱,MES系统HMDS烤箱将HMDS涂到半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料表面后,经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。

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